Catalog BNRM |

Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : Учеб. пос. для приборостроит. спец. вузов

Tipul înregistrării:	Text tipărit: monografic
Autor:	Сазонов, А. А.
Responsabilitate:	А. А. Сазонов и др.
Responsabilitate secundară:	Под ред. А. А. Сазонова
Editura:	Высшая школа
Locul publicării:	Москва
Anul Ediției:	1991
ISBN:	5-06-000731-6
Descriere:	333 p. : il.
Limba:	Rusă
Subiect:	Automatizare - Microelectronică
Subiect:	Circuite integrate microelectronice - Producţie
Clasificare:	32.844.15-06-05â73 B.B.K.
Clasificare:	621.382.049.77.002:658.012.011.56(075.8)

LDR:00639nam 2200145 001 310869
010 $a 5-06-000731-6
100 $a 20081015u a u0ruma50 ba
101 0 $a rus
200 0 $a Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники $b Text tipărit $e Учеб. пос. для приборостроит. спец. вузов $f А. А. Сазонов и др. $g Под ред. А. А. Сазонова
210 # # $a Москва $L s71795 $c Высшая школа $d 1991
215 $a 333 p. $c il.
320 $a : p. 332
606 $3 445331 $a Automatizare $3 483151 $x Microelectronică
606 $3 432825 $a Circuite integrate microelectronice $3 502614 $x Producţie
675 $a 32.844.15-06-05â73 B.B.K.
675 $a 621.382.049.77.002:658.012.011.56(075.8)
701 0 $3 766944 $4 070 $4 220 $a Сазонов $b А. А.
801 0 $g MARC/13